PECVD FIRINLARI

Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD) fırınları çoklu işlem kapasitesini tam üretim sistemleri için gereken maksimum kapasite ihtiyacı ve araştırmalarda ve pilot üretimlerde kullanılan küçük versiyonların esnekliği ile birleştirmiştir.

Rotalab'ın sağladığı PECVD fırınlar ile diğer laboratuvar fırınları ve ısıl işlem sistemleri kullanıcıya yüksek işlem esnekliği sağlarken yüksek verim, laboratuvarda az yer kaplama ve fiyat avantajları açısından en üst düzeydedir.

  • GSL-1100X-PECVD

  • OTF-1200X-4CLV-PE-UL

  • OTF-1200X-4CV-PE-SL-UL

  • OTF-1200X-50-II-PE-MSL-UL

  • OTF-1200X-50S-PE-SL

  • OTF-1500X-80-III-4CV-PE-SL

  • GSL1100X-PJF-A

  • OTF-PECVD-RF